Разрешение 0,2 нм (горизонтальное), 0,01 нм (вертикальное)
Система детектирования Источник света/рычаг/детектор
Источник света Лазерный диод (650 нм, 1 мВт макс.)
Детектор Фотодетектор
Диапазон сканирования 30 × 30 × 5 ìм (стандарт);
125 × 125 × 7 ìм и 55 х 55 х 13 ìм (опция)
Размер образца ∅ 24 мм × 8 мм
Перемещение вдоль оси Z 10 мм макс., 21,4 нм мин. шаг