Рентгеновская фотоэлектронная спектроскопия (XPS) является эффективным методом изучения поверхности, распределения элементного состава и валентного состояния элементов в твердых пробах.
При этом используются методы сканирующей Оже-микроско-пии, спектроскопии рассеянных ионов, масс-спектрометрии вторичных ионов, ультрафиолетовой фотоэлектронной спектроскопии.
Спектрометры указанного типа представлены четырьмя моделями, различия между которыми относятся к компоновке вакуумной системы и анализатора энергии электронов, а также к набору режимов измерения.